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什麼是MEMS

什麼是MEMS? 微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS),其定義為一個智慧型微小化的系統,包含感測、處理或致動的功能,包含兩個或多個電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質整合到一個單一或多晶片上。其應用領域極為廣泛,包括製造業、自動化、資訊與通訊、航太工業、交通運輸、...

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