試劑水的品質可以經由分析得知，依據其組成成分含量可以分為下表四個等級：
等級區分 超高 高 中 低
水質參數
電阻值，megohm - cm ，25 ℃ > 16 > 10 > 1 0.1
導電度，mmho / cm，25℃ < 0.06 < 0.1 < 1 10
二氧化矽，mg / L < 0.05 < 0.05 < 0.1 < 1
微量分析時使用超高品質的試劑水之電阻值必須大於 16 megohms - cm，而高品質的試劑水之電阻值必須大於 10 megohms - cm。通常可由蒸餾、去離子或逆滲透之後，再以離子交換，並通過 0.2 µm 的薄膜過濾後，可製得高品質的試劑水。中等品質的試劑水可由蒸餾或去離子製得，電阻值必須大於 1 megohms - cm。低品質的試劑水其電阻值至少要有 0.1 megohms – cm 以上。低品質的試劑水通常用來清洗玻璃器皿，以及做為製備高品質試劑水的進流水。
製造試劑水的方法有蒸餾法、逆滲透法、離子交換及吸附等方法。超微薄膜過濾也可以用於部分的製程，以下是製備試劑水的方法 ：
（1）蒸餾法：實驗使用的試劑水可由矽化玻璃及石英管的蒸餾系統來製備。去除氨氮可以經由酸性溶液蒸餾而製得，煮沸蒸餾水 15 分鐘後再降到室溫可移除水中的二氧化碳。在煮沸的過程中，容器所含物質可能會溶入試劑水中，如果蒸餾系統用的進流水含有濃度過高的鈣、鎂及碳酸濃度時，此類進流水必須先做前處理。(可得到一次蒸餾水及二次蒸餾水)
（2）逆滲透：逆滲透是用壓力將水樣壓過半透膜以移除溶解性及懸浮性的物質。必須考慮進水水樣的水質特性而慎選逆滲透膜的模組。前處理可能是必要的，目的是在於降低逆滲透膜被顆粒阻塞的可能性，也可以因此而降低自由餘氯、鐵及其他氧化物質對逆滲透膜的侵蝕，前處理使用之薄膜有必要經常進行逆洗。(RO水)
（3）離子交換：離子交換製備試劑水是將進流水通過裝填強的陰離子及強陽離子樹脂混合床。如果試劑水不使用連續製備方式時，可以利用回流方式，使水流經陰離子/陽離子交換樹脂混合床。若考慮後續再生樹脂時，應該採取陰、陽離子分開的單一樹脂床來進行處理。進流水中若含有有機物時，應先進行前處理（蒸餾或進行逆滲透法）後，再以離子交換製備試劑水，以避免樹脂床的阻塞。
（4）吸附：吸附法最主要用於移除進流水中的有機物及餘氯，通常使用粒狀活性碳，但對於高溶解性、低分子量、高極性物質的吸附效果較差，慎選活性碳的種類是很重要的。不僅如此，選擇活性碳應考慮活性碳吸附床的尺寸、是否有足夠的停留時間、是否有最大的流速等，這些都會影響製備的試劑水品質。
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參考資料
水質檢測方法總則 中華民國94年3月2日環署檢字第094001591號公告NIEA W102.51C
2007-08-29 23:06:46 補充
依檢驗項目及方法靈敏度之不同而 異，通常使用的蒸餾水可分為以下四類 ：
（一）一般蒸餾水(一次水 , 一次蒸餾水)
使用蒸餾的方法除去 ......。一般蒸餾水之導電度在5μmho /cm
以下者才適用。
（二）不含二氧化碳的蒸餾水
蒸餾水通常含有過飽和的二氧化碳，將蒸餾水煮沸15分鐘後
迅速冷卻至室溫，可製備不含二氧化碳的蒸餾水，常於使用
前配製，其pH值為6.6～ 7.2。
參考資料
中華民國八十二年十月七日 (82) 環 署 檢 字第43906 號 NIEA W101.50A
2007-08-29 23:12:08 補充
（三）二次蒸餾水
使用全部硼矽玻璃之蒸餾裝置，將蒸餾水再次蒸餾。
（四）去離子蒸餾水
將蒸餾水經過強酸性陽離子交換樹脂及強鹼性陰離子交換樹脂
混合床，可得高純度之水，其導電度小於0.1μmho /cm，可用
於微量陰、陽離子分析用，如用於微量有機物分析時，可使再
通過去除有機物之管柱及0.2μm 濾膜過濾。
(五) 另外 miniQ製備出來的水，其電阻值為 18.2 megohm - cm .為超
純水,常用於AA, IC, TOC, HPLC 分析實驗上.
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