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晶圓如何切割及切割技術

發表時間： 於 2007-12-02 20:27:12 晶圓如何切割及切割技術我想請教一下有相關經驗的人晶圓的切割和拋光技術問題三部分1.要怎麼切才能做到幾乎毫無缺陷呢?是用雷射?離子束?鑽石砂輪?還是有其他方法??2.另外業界目前拋光在使用的是鑽石砂嗎?還是有其他磨料呢?回答：在於傳統切割晶片製程中產生廢料的情...
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