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台灣普熙真空幫浦 客製化

作者： 李水蓮 | 中時電子報 – 2013年8月21日 上午5:30

工商時報【李水蓮】

德國BUSCH真空幫浦、真空應用系統設計製造及售後維修聞名全球，台灣普熙挾著BUSCH領導品牌優勢，為國內面板、半導體、光電、食品包裝業者提供真空幫浦、真空系統之解決方案。台灣普熙9月4日至6日將參加2013國際半導體設備展。

台灣普熙總經理黃胤庭表示，真空濺鍍技術係屬於高度整合機械、電子、電機、材料的專業技術，過去常被導入TFT/LCD、太陽能電池製程。近年來因真空技術不斷突破提升，已被廣泛應用於4C（包括電腦、通訊、消費性電子、汽車電子）產業之防電磁波干擾（防EMI）、SDC（表面裝飾鍍膜）、NCVM（不導電鍍膜）和光電產品之反射、半透光鍍膜、IC鍍膜與各種光學鍍膜等。

黃胤庭指出，採用真空濺鍍製程已是時勢所需，也是當今最重要的綠色科技之一。而好的真空幫浦設備，更居關鍵性角色。

由於傳統油式、乾式幫浦，受不了Powder的堵塞，必須3至4個月修理1次，不但降低製程良率，對業者的成本與時間更是一大損失。

德國BUSCH真空幫浦採一體成型，潔淨度高、容易維修、而且更精簡。台灣普熙在深坑興建完成現代化工廠及1座Class10000級無塵室及洗滌塔，以因應乾淨醫療製程維修需要，且擁有數位專業外籍技師在台服務。

整個作業環境導入TOYOTA 5S標準規範，全廠保持整齊、清潔、安全的環境。專供電子、光電及醫療級的產品組裝、維修與保養用，為業界提供高潔淨度的真空製程環境。

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